전극의 종류에 따른 MOS Capacitor의 C-V, I-V 특성 분석

전극의 종류에 따른 MOS Capacitor의 C-V, I-V 특성 분석

전극의 종류에 따른 MOS Capacitor의 C-V, I-V 특성 분석.pptx

목차 1 Introduction 2 Experiment 3 Result and discussion 4 Conclusion 5 Reference 본문 01 Introduction 1 실험 목적 절연층의 종류 (Al2O3, SiO2)에 따른 C-V curve와 I-V curve를 측정하여 MOS capacitor의 전기적 특성에 대해 알아본다. (중략) 03 Result and discussion 3 결과 분석 1. 절연층의 종류에 따른 Capacitance 변화 이론적으로 Capacitance 비교 시 Al2O3 > SiO2 측정 결과 Al2O3 < SiO2 오차 원인 = 열적 안정성 차이 E-beam evaporation시의 고온 공정으로 인한 유전상수 변화 열적 안정성 → SiO2 < Al2O3 SiO2 의 유전상수의 변화가 Al2O3 보다 크게 일어남 참고문헌 1. Masao Taguchi, IEEE Electron Device Lett., 12, 642(1992) 2. J. Robertson, Eur. Phys. J. Appl. Phys., 28, 265(2004) 3. 김완돈, 황철성, 차세대 capacitor 기술 개발 4. S.J. Kim, G.H. Chang, Y.S. Byuon, Y.C. Jin, and G.G. Jheong, J. of the Korean Society for Heat Treatment, 6, 204(1993) 5. P. Chowdhurya, Harish C. Barshilia, N. Selvakumar, B. Deepthi, K.S. Rajam, Ayan Roy Chaudhuri, and S.B. Krupanidhi, Physica B, 403, 3718(2008) 6. Gang He, Qi Fang, Liqiang Zhu, Mao Liu, and Lide Zhang, Chemical Physics Letters, 395, 259(2004) 7. Baoxing Zhao, Jicheng Zhou, Yu Chen, and Yinqiao Peng, Journal of Alloys and Compounds 509 4060(2011) 8. C.K. Chung, M.W. Liao, and C.W. Lai, Thin Solid Films 518, 1415(2009) 9. Myung-Hwan An, Journal of the Korean Physical Society, 47, 847(2005) 10. 김동명, 반도체 공학, 14, 1012(2011) 키워드 특성, 분석, 종류, 전극